特集

温度調節計

REX-F9000   

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高分解能温度調節計

REX-F9000 登場!

 1998年12月のセミコンジャパン98にて発表しご好評を頂きました高分解能温度調節計「REX-F9000」を販売開始致します。(1999年8月2日)

 理化工業(株)の技術力が「0.001℃」の世界を提供致します。
高分解能温度調節計 REX-F9000 製品写真

高精度&高分解能で2チャネル制御を実現

高分解能 0.001℃

高 精 度 ±0.05℃
 高い精度が要求される半導体製造装置や研究用実験装置等の温度制御に最適です。 (精度は、周囲温度 23℃±5℃の条件下で実現します。)

フィードフォワード機能
 負荷の電圧が変化しても温度制御が乱れないように、PIDの出力に電力フィードフォワードをかけます。

ブリリアントPID採用
 ブリリアントPID制御は、「外乱に対する応答性」が良くなるようなPID定数のままで、「設定に対する応答性」をお客様のアプリケーションに合わせてFast,Medium,Slowの3種類の中から選択できます。
ブリリアントPID説明図

通 信 機 能
 通信機能は、RS-485準拠を採用し最大31台までマルチドロップ接続が可能です。さらに、ラダー通信プロトコルにも対応していますので直接PLCと通信可能です。
通信機能説明図

計測出力機能 (オプション)
 出力分解能13ビット以上、出力精度0.1% of スパンの計測出力機能をオプションとして付加可能です。
出力の種類は、測定値,偏差,設定値,操作出力からお選び頂けます。
出力信号は、DC 0〜5V,DC 1〜5V,DC 0〜20mA,DC 4〜20mAからお選び頂けます。

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