横型拡散炉のリユース、リニューアルをご提案
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制御系の老朽化から現在使用していない古い横型拡散炉の制御系を刷新しリユース

長期間使用しメンテナンスが困難な横型拡散炉の制御系をリニューアルして再生、歩留まり向上。
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横型拡散炉
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半導体製造装置の中でも、使用年数が長い拡散炉は、1980〜90年代に製造された装置が今も現役で多数使用されています。
しかし、電気・制御系において保守・メンテナンスが困難になって使用出来ない物や歩留まり生産性が低下している旧タイプの横型拡散炉、横型酸化炉、横型CVD等があるかと存じます。
理化工業は、温度制御機器を多くの半導体製造装置メーカーへ納入した実績からお客様の要望に柔軟にお応え致します。

半導体製造装置のメンテナンスに携わる方へご提案
  • 老朽化した温度調節計を新型へリプレース [ローコストコース]
  • 温度・ガスフロー等プロセス制御系をシステムコントローラへリプレース [ミドルコストコース]
  • 上記のプロセス制御系に加えウェハ搬送、工程管理システムとの統合等を含めたフルリニューアル [ハイエンドコース]
上記は、大まかな例に過ぎません。ご相談により、お客様に合った具体的なご提案をさせて頂きます。

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横型拡散炉リニューアル提案

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