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サンプリング
0.025秒
高速サンプリング温度調節計 HAシリーズ
1秒間に40回の超高速フィードバック制御
プロセス調節計 HAシリーズ
温度調節計(温調計)として1秒間に 40回のサンプリングがもたらす効果は、まさに異次元と言って良いでしょう。
高速サンプリング温度調節計(温調計) HAシリーズは、今まで不可能と思われていた早い制御系にも0.025秒の高速サンプリングで応えます。
  • 半導体製造装置
  • ランプヒーター等を用いた高速昇温制御
  • 流量(電流・電圧入力仕様)制御...
等々...
半導体製造装置
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HA900 HA400 高速サンプリング調節計
HA400_900
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特 長
ライン
高速サンプリング0.025秒 カスケード制御
2チャネル制御を実現 パワーフィードフォワード機能
微細な入力変化を捉える高分解能 通信機能 Update!
簡易プログラム制御機能

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ECO 2009 plus Mark 3年保証対象商品

HA400, HA900高速サンプリング温度調節計(温調計)の性能を最大限に活用するために入力である熱電対,白金測温抵抗体等センサには高速応答で高精度の物をご使用願います。
操作器(ソリッド ステート リレー:SSR,サイリスター制御ユニット:SCR等々)および熱源(温度制御の場合:ヒーター等)に於いても応答性の早い物をご使用願います。

アプリケーション例
業 界 内 容
半導体関係 拡散炉の温度制御について

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