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高速数字控制器(过程/温度控制器) HA400, HA900

取样 0.025 秒 1 秒 40 次的超高速前馈控制!!
作为温度控制器 ( 温控器 ) , 1 秒 40 次的取样所带来的效果是方方面面的。高速取样温度控制器 HA 系列,以 0.025 秒的高速取样实现了至今为止被认为不可能的高速控制系统。
  • 半导体制造装置
  • 使用了石英加热器等的高速升温控制
  • 量 ( 电流 / 电压输入规格 ) 控制
等等...
半导体制造装置  
HA400_900
 
線
特 点
線
高速取样0.025秒 串联控制
实现2通道控制 功率前馈功能
捕捉细微的输入变化的高分辨率 通信功能
简易程序控制功能  

为了最大限度的活用高速取样温度控制器 HA 系列 (HA900 、 HA400) 的性能,请您选用高速响应高精度的 输入热电偶、铂金测温电阻等感应器。

并请您也选用高速响应的操作装置(固态继电器: SSR ,可控硅控制单元: SCR 等)以及热源(控制温度时:加热器等)。
应用实例
行业 内容
半导体方面 关于扩散炉的温度控制