チャンバの高応答温度制御・ランプアニーラの高速昇温制御

チャンバの高応答温度制御・ランプアニーラの高速昇温制御
チャンバの高応答温度制御・ランプアニーラの高速昇温制御の説明図
 半導体製造プロセスにおけるRTP(Rapid Thermal Process : 急速加熱処理)工程には、0.025秒の高速サンプリングで制御する温度調節計 HAシリーズ(HA900, HA400SRXシリーズと高速制御に対応している電力調整器 THV型(単相)THW型(三相)が最適です。

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