ステッパ、コータ・デベロッパの高安定温度制御

ステッパ、コータ・デベロッパの高安定温度制御
温度調節計(温調計) REX-F9000型および電力調整器 THV型を用いたステッパ、コータ・デベロッパの高安定温度制御例の説明図
 高度な温度安定性を求められるステッパ等の半導体製造装置には、1/1000℃の分解能を持ち電源電圧の微細な変動にも対応するパワーフィードフォワード入力機能を持つ温度調節計 REX-F9000型が最適です。

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